冠亞恒溫小編為大家介紹 FLTZ -25~+90℃系列設(shè)備在面板制程中的寬溫域控溫應(yīng)用。面板制程涵蓋薄膜沉積、刻蝕、真空鍍膜、熱量轉(zhuǎn)移等多個環(huán)節(jié)，不同工藝環(huán)節(jié)對溫度的需求差異較大，FLTZ -25~+90℃系列設(shè)備可實現(xiàn) – 25℃至 + 90℃的寬溫域控溫，適配面板制程多環(huán)節(jié)的溫控需求。

FLTZ -25~+90℃系列設(shè)備的溫度范圍為 – 25℃~+90℃，控制模式支持循環(huán)液出口溫度控制與工件負載溫度控制（選配），出口控溫精度穩(wěn)定在 ±0.1℃，可定制 ±0.01℃控溫精度，能夠滿足面板制程不同工藝環(huán)節(jié)的溫度穩(wěn)定性要求。制冷量 @-15℃覆蓋 1kW 至 12kW，制冷量 @-20℃覆蓋 0.8kW 至 10kW，加熱能力從 1.5kW 至 7.5kW，可根據(jù)不同工藝環(huán)節(jié)的冷熱負荷需求匹配對應(yīng)型號，適配冷熱負荷波動的場景。

介質(zhì)適配方面，設(shè)備支持氟化液、乙二醇水溶液等介質(zhì)，制冷劑采用 R404A，適配 – 25℃~+90℃的溫度區(qū)間需求。介質(zhì)流量壓力為 15LPM@3bar 至 30LPM@5bar，介質(zhì)接口涵蓋 Rc1/2、Rc3/4 等規(guī)格，冷卻水接口包括 Rc1/2、Rc1/4 等，冷卻水流量從 1.1m3/h 到 8m3/h 不等，膨脹罐容積為 10L 至 35L，可匹配面板制程設(shè)備的管路與水路布局需求。

在面板制程應(yīng)用中，該系列設(shè)備可適配薄膜沉積環(huán)節(jié)的低溫控溫、刻蝕環(huán)節(jié)的常溫控溫、真空鍍膜環(huán)節(jié)的高溫控溫等不同需求，實現(xiàn)一臺設(shè)備覆蓋多環(huán)節(jié)溫控的效果，減少設(shè)備數(shù)量與場地占用。設(shè)備采用動態(tài)控溫技術(shù)，可根據(jù)工藝溫度變化自動調(diào)節(jié)制冷與加熱功率，減少溫度過沖，確保溫度控制平穩(wěn)，適配面板制程對工藝一致性的要求。

安全與通訊配置上，設(shè)備具備完善的安全保護功能，可接入產(chǎn)線自動化控制系統(tǒng)，實現(xiàn)遠程監(jiān)控與參數(shù)調(diào)整，適配面板產(chǎn)線的自動化生產(chǎn)需求。FLTZ -25~+90℃系列設(shè)備以寬溫域控溫能力，為面板制程提供了多環(huán)節(jié)適配的溫控解決方案。

FLS常溫高精度系列

適用范圍 應(yīng)用： 原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進行制冷加熱，可實現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1.高精度控溫： 采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。 2.多場景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。 產(chǎn)品特點 Product Features …

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FLTZH高溫系列

適用范圍 應(yīng)用： CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨校瑵M足半導(dǎo)體高溫測試需求。 核心技術(shù)與優(yōu)勢： 1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達300℃。 2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。 3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動等技術(shù)，實現(xiàn)…

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FLTZ-U超純水溫控系列

適用范圍 Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)gao 效換熱，實現(xiàn)對目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個過程實現(xiàn)制冷； 同時，載冷劑（介質(zhì)）在獨立的循環(huán)管路中流動，通過板換換熱器將冷量持續(xù)…

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FLTRZ二氧化碳系列

適用范圍 FLTRZ系列Chiller采用的CO?（二氧化碳，R744）制冷劑，是契合全球“雙碳”戰(zhàn)略與huan 保趨勢的gao 效制冷設(shè)備，以天然CO?為制冷介質(zhì)，為半導(dǎo)體行業(yè)提供綠色可靠的制冷解決方案。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter

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氟化液回收裝置

適用范圍 氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計。采用品牌的壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進行換熱，對氟化液進行冷凝后回收。 產(chǎn)品特點 Product Features 產(chǎn)品參數(shù) Product Parameter 控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報警，機組本地觸摸屏可實現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。 同時，…

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FLTZ變頻多通道系列Chiller

FLTZ系列多通道Chillers主要用于半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），顯著提升系統(tǒng)的響應(yīng)速度、控制精度和穩(wěn)定性。

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單通道系列 Single Channel Chiller

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。

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面板系列Panel Chiller

面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負載，確保惡劣?況下持續(xù)穩(wěn)定運?；支持冷卻?動態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負荷，實時調(diào)節(jié)?溫。

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帕爾貼Chiller

冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制； 基于經(jīng)過實踐驗證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠為等離子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

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負壓型控溫機組

負壓型控溫系統(tǒng)通過負壓環(huán)境下的流體循環(huán)實現(xiàn)精準(zhǔn)溫度控制，原理：通過負壓發(fā)?器驅(qū)動導(dǎo)熱介質(zhì)（?/油）循環(huán)，避免泄漏?險，適?于各種類型板卡冷卻。

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