單通道系列 Single Channel Chiller

適用范圍

FLTZ系列單通道Chillers主要應(yīng)用與半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準(zhǔn)控制，公司在系統(tǒng)中應(yīng)用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應(yīng)、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行全面管理監(jiān)控記錄。

加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品特點

Product Features

特點一溫度范圍：-100~+90℃，控溫精度：±0.1℃（可定制±0.01℃）

特點二 采用先進的密封技術(shù)，減少循環(huán)液的泄漏及揮發(fā)

特點三40℃以內(nèi)加熱方式采用壓縮機熱氣加熱，無需加熱器

特點四采用先進的變頻技術(shù)，實現(xiàn)gao 效節(jié)能

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

型號	FLTZ-001 FLTZ-001W	FLTZ-002 FLTZ-002W	FLTZ-003 FLTZ-003W	FLTZ-004 FLTZ-004W	FLTZ-006 FLTZ-006W	FLTZ-008 FLTZ-008W	FLTZ-010 FLTZ-010W	FLTZ-015 FLTZ-015W
溫度范圍	5℃～40℃(可擴展到90℃)
控制模式	循環(huán)液出口溫度控制
控制模式	工件負(fù)載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
制冷量@20℃	2.5kW	6kW	9kW	10kW	15kW	20kW	25kW	38kW
加熱能力	0.5kW	1kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介質(zhì)類型	氟化液、乙二醇水溶液或DI水等
制冷劑類型	R404A、R410A或R448A
介質(zhì)流量壓力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	0.6m3/h@23℃	1.1m3/h@23℃	1.6m3/h@23℃	2.2m3/h@23℃	3.3m3/h@23℃	4.4m3/h@23℃	5.5m3/h@23℃	8m3/h@23℃
冷卻水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨脹罐容積	10L	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色觸摸屏
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護
通訊類型	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)		380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率（max）	2.5kW	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	4090100	48100115	48100115	50108130	50108140	80100165	90110165	100120165
非標(biāo)定制	帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足SEMI或CE等認(rèn)證

型號	FLTZ-202 FLTZ-202W	FLTZ-203 FLTZ-203W	FLTZ-204 FLTZ-204W	FLTZ-206 FLTZ-206W	FLTZ-208 FLTZ-208W	FLTZ-210 FLTZ-210W	FLTZ-215 FLTZ-215W
溫度范圍	-25℃～90℃
控制模式	循環(huán)液出口溫度控制
控制模式	工件負(fù)載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
制冷量@-15℃	1kW	2kW	2.5kW	4kW	6kW	8kW	12kW
制冷量@-20℃	0.8kW	1.5kW	2kW	3.5kW	5kW	6.5kW	10kW
加熱能力	1.5kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介質(zhì)類型	氟化液、乙二醇水溶液
制冷劑類型	R404A
介質(zhì)流量壓力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	1.1m3/h@23℃	1.6m3/h@23℃	2.2m3/h@23℃	3.3m3/h@23℃	4.4m3/h@23℃	5.5m3/h@23℃	8m3/h@23℃
冷卻水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色觸摸屏
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護
通訊類型	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	380?VAC?±?10%，三相/220?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率(max)	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	48100115	48100115	50108130	50108140	80100165	90110165	100120175
非標(biāo)定制	帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足SEMI或CE等認(rèn)證

型號	FLTZ-402 FLTZ-402W	FLTZ-403 FLTZ-403W	FLTZ-404 FLTZ-404W	FLTZ-406 FLTZ-406W	FLTZ-408 FLTZ-408W	FLTZ-410 FLTZ-410W	FLTZ-415 FLTZ-415W
溫度范圍	-40℃～90℃
控制模式	循環(huán)液出口溫度控制
控制模式	工件負(fù)載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
制冷量@-10℃	1.5kW	3kW	3.2kW	5kW	7kW	9kW	13kW
制冷量@-30℃	0.6kW	1kW	1.3kW	2kW	2.8kW	4kW	5.5kW
加熱能力	1kW	1.5kW	2kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW
介質(zhì)類型	氟化液、乙二醇水溶液
制冷劑類型	R404A
介質(zhì)流量壓力	15LPM@3bar	15LPM@3bar	25LPM@3bar	25LPM@3bar	25LPM@3bar	30LPM@5bar	30LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	1.1m3/h@23℃	1.6m3/h@23℃	2.2m3/h@23℃	3.3m3/h@23℃	4.4m3/h@23℃	5.5m3/h@23℃	8m3/h@23℃
冷卻水接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4
膨脹罐容積	10L	10L	15L	15L	20L	25L	35L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色觸摸屏
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護
通訊類型	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制)
總用電功率（max）	4.5kW	6kW	7kW	11kW	15kW	18.5kW	25kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	48100115	50108140	50108140	50108150	80100165	90110165	100120175
非標(biāo)定制	帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足SEMI或CE等認(rèn)證

型號	FLTZ-803 FLTZ-803W	FLTZ-805 FLTZ-805W	FLTZ-806 FLTZ-806W	FLTZ-808W	FLTZ-8010W	FLTZ-8015W	FLTZ-8025W
溫度范圍	-80℃～50℃(可擴展到100℃)
控制模式	循環(huán)液出口溫度控制
控制模式	工件負(fù)載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
制冷量@25℃	3kW	4.5kW	5kW	6.5kW	9kW	14kW	25kW
制冷量@-55℃	1kW	2.5kW	2.8kW	3.2kW	4.8kW	7.5kW	10.2kW
制冷量@-70℃	0.6kW	1.2kW	1.5kW	2kW	2.8kW	5.5kW	8kW
加熱能力	1.5kW	2.5kW	3kW	4kW	5.5kW	7.5kW	11kW
制冷劑類型	R404A/R508B
介質(zhì)類型	氟化液
介質(zhì)流量壓力	15LPM@3bar	20LPM@3bar	25LPM@3bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar	35LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	2m3/h@23℃	3m3/h@23℃	3.6m3/h@23℃	4.8m3/h@23℃	7m3/h@23℃	10m3/h@23℃	15m3/h@23℃
冷卻水接口	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1	Rc1 1/4	Rc2
膨脹罐容積	15L	15L	15L	30L	30L	40L	40L
流量控制	15LPM~25LPM	15LPM~25LPM	15LPM~30LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM	20LPM~50LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	7寸彩色觸摸屏			10寸彩色觸摸屏
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護
通訊類型	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	380?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率（max）	8.5kW	12.5kW	16kW	22kW	27.5kW	38kW	60kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	6590165	7095175	7095175	80120185	80120185	100130185	120160195
非標(biāo)定制	帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足SEMI或CE等認(rèn)證

型號	FLTZ-1002W	FLTZ-1004W	FLTZ-1006W
溫度范圍	-100℃～90℃（(可擴展到100℃)）
控制模式	循環(huán)液出口溫度控制
控制模式	工件負(fù)載溫度控制（選配）
出口控溫精度	±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
工藝工程溫度控制	可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標(biāo)溫度（動態(tài)控溫）
制冷量@-90℃	1.5kW	3kW	6kW
加熱能力	3.5kW	5.5kW	15kW
介質(zhì)類型	氟化液
制冷劑類型	混合冷媒
介質(zhì)流量壓力	30LPM@6bar	30LPM@6bar	30LPM@6bar
介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	6.6m3/h	10m3/h	18m3/h
冷卻水接口	Rc1	Rc1 1/2	Rc2
膨脹罐容積	30L	30L	40L
流量控制	20LPM~40LPM	20LPM~40LPM	20LPM~40LPM
流量顯示精度	±0.5LPM	±0.5LPM	±0.5LPM
操作面板	10寸彩色觸摸屏
安全防護	具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護
通訊類型	支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	380?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率(max)	20.5kW	27.5kW	55kW
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm	80120185	100150185	120160195
非標(biāo)定制	帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足SEMI或CE等認(rèn)證

1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。

2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請以機組銘牌參數(shù)為主。

3.如需特殊?標(biāo)品定制，請與我司聯(lián)系。

4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar

應(yīng)用原理：

CHILLER單通道變頻設(shè)備集成單級蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進行制冷加熱，并且同時實現(xiàn)精準(zhǔn)控溫功能，為用戶提供相溫度的冷卻介質(zhì)，適用于刻蝕、光刻機、涂膠顯影設(shè)備等設(shè)備領(lǐng)域制冷加熱控溫。

核心技術(shù)與優(yōu)勢：

1.gao 效節(jié)能：設(shè)備可通過內(nèi)置變頻器根據(jù)用戶冷熱負(fù)荷自動調(diào)節(jié)泵及壓縮機頻率，保證機組運行狀態(tài)穩(wěn)定適配末端負(fù)載情況，避免壓縮機與電加熱滿負(fù)荷對抗，達(dá)到節(jié)能效果。

2.精準(zhǔn)控溫：采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.1℃，適用于精密制造場景。

3.多場景適配：支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用（采用去離子水可滿足微電子領(lǐng)域用戶冷媒介質(zhì)低導(dǎo)電率需求)。

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION