FLTZH高溫系列

適用范圍

應(yīng)用：
CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨校瑵M足半導(dǎo)體高溫測(cè)試需求。
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。
2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。
3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的gao 效節(jié)能。
4、氟化液損耗小：特殊的密封和循環(huán)設(shè)計(jì)，降低高溫下導(dǎo)致的氟化液揮發(fā)損耗。
5、潔凈度高：內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高，不含雜質(zhì)離子，對(duì)工藝制程不會(huì)產(chǎn)生任何污染。