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氟化液回收裝置

氟化液回收裝置

適用范圍

氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計(jì)。采用品牌的壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行換熱，對(duì)氟化液進(jìn)行冷凝后回收。

全國(guó)服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報(bào)警，機(jī)組本地觸摸屏可實(shí)現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。

同時(shí)，觸摸屏可以實(shí)時(shí)顯示氟化液回收狀態(tài)，幫助客戶科學(xué)管控氟化液的使用。

本系統(tǒng)具有優(yōu)良的機(jī)電性能:控制精度高，性能穩(wěn)定，可靠性高;操作簡(jiǎn)便，維護(hù)、維修方便。

 

型號(hào) FHY-HS01
環(huán)境溫度 15℃-35℃
環(huán)境濕度 不大于85%
設(shè)備供電 單相220V/50HZ（可依據(jù)客戶要求定制）
額定功率 1.8kW
最大運(yùn)行電流 10A
冷卻方式 風(fēng)冷
噪聲 小于70dB
制冷系統(tǒng)控溫精度 ±1℃
真空泵排氣量 210L/min(Max)
回收能力（氣態(tài)） 450ml（氣態(tài)）/H（Max）
回收時(shí)間 小于2小時(shí)
氟化液凈損耗率 小于10%
蓄冷罐容積 5L/8L
制冷劑 R404A/1.2kg
可回收氟化液類型 3M-7100、3M-7200、長(zhǎng)蘆7100、長(zhǎng)蘆7200等易揮發(fā)氟化液
通訊方式 RS232/RS485/USB
進(jìn)出接口 Rc1/2
循環(huán)回收系統(tǒng) 整個(gè)系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)。
操作界面 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
外形尺寸 L：65cm；W：48cm；H：130cm??可依據(jù)客戶要求定制

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個(gè)對(duì)環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對(duì)溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準(zhǔn)確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測(cè)工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測(cè)工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后測(cè)試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對(duì)溫度進(jìn)行嚴(yán)格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。