Chiller 雙變頻

半導(dǎo)體chiller 半導(dǎo)體溫控裝置Chiller

溫控精度±0.1℃
溫度范圍-45℃~90℃
泵壓力6bar max
內(nèi)循環(huán)液容積8L
電源 220V 50/60HZ

半導(dǎo)體投入大，制造工序多，為了提高產(chǎn)品的良品率、確保收益，需要在半導(dǎo)體的每個環(huán)節(jié)進(jìn)行質(zhì)量把控，影響產(chǎn)品質(zhì)量的其中一個重要因素就是溫度，溫度的穩(wěn)定性及精準(zhǔn)度非常重要，為獲得穩(wěn)定可靠的產(chǎn)品保駕護(hù)航。

冠亞循環(huán)冷卻器和水- 水熱交換器為從前端到后端的整體半導(dǎo)體工藝流程提供支持。通過擁有超過16年的溫度控制經(jīng)驗以及與各大zhi名主設(shè)備機(jī)臺直接配套經(jīng)驗，我們?yōu)榘雽?dǎo)體客戶提供標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品及用戶定制產(chǎn)品、溫度控制技術(shù)的專業(yè)知識以及全球化服務(wù)，有助于滿足您從鑄錠到測試的半導(dǎo)體工藝流程中苛刻的溫度要求。

型號	FLTZ-D-202W		FLTZ-D-203W		FLTZ-D-B003B203W
通道系數(shù)	CH1	CH2	CH1	CH2	CH1	CH2
介質(zhì)溫度范圍	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃	-20~＋90℃
控制系統(tǒng)	PLC控制器		PLC控制器		PLC控制器
控制模式	本體出液口溫控控制模式
	負(fù)載溫度控制模式（通信）
出口溫度控制精度	±0.1℃
冷卻能力	1kW@-20℃	1kW@-20℃	2.5kW@-15℃	2.5kW@-15℃	4kW@-15℃	20kW@冷卻水溫度+10℃
	4kW@10℃	4kW@10℃	6kW@10℃	6kW@10℃	10kW@10℃
加熱能力	1.6kW	1.6kW	5.5kW	5.5kW	2kW	5.5kW
介質(zhì)類型、電阻率	DI WATER@10~18MΩ·cm		氟化液		氟化液
介質(zhì)流量壓力	20LPM@5bar	20LPM@5bar	20LPM@3bar	20LPM@3bar	20LPM@5bar	20LPM@5bar
介質(zhì)接口	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc1/2	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	20℃@2.5m3/h@2~4bar		20℃@3.5m3/h@2~4bar		20℃@2.7m3/h@2~4bar	20℃@3.5m3/h@2~4bar
冷卻水接口	Rc3/4		Rc3/4		Rc3/4	Rc3/4
通道溫度控制	PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨立控制
每組流量控制	15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能
流量顯示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容積	15L	15L	15L	15L	15L	15L
操作面板	7寸彩色觸摸屏
安全防護(hù)	具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù)
安全聯(lián)鎖裝置	EMO+INTERLOCK
上鎖掛牌裝置	LOTO
漏液檢測裝置	設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON
通訊類型	支持MODBUS RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	220 VAC ± 10%，三相(可定制)		380 VAC ± 10%，三相(可定制)		220 VAC ± 10%，三相(可定制)
總用電功率	11kW(49A)		18kW（48A)		14.5kW（55A)
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035		冷軋板噴塑RAL7035		冷軋板噴塑RAL7035
外形尺寸cm	6085140		75110170		4690187
非標(biāo)定制	配離子交換樹脂過濾器帶自動吹掃功能、自動補(bǔ)液、自動排液功能可定制雙通道液位平衡		帶自動吹掃功能、自動補(bǔ)液、自動排液功能可定制設(shè)計滿足semi2/semiF47認(rèn)證可定制雙通道液位平衡		帶自動吹掃功能、自動補(bǔ)液、自動排液功能可定制設(shè)計滿足semi2/semiF47認(rèn)證可定制雙通道液位平衡

型號	FLTZ-T-B203B205A1W			FLTZ-T-B440A2A2W			FLTZ-T-B210A1C1W
通道系數(shù)	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3	CH1	CH2	CH3
介質(zhì)溫度范圍	-10~＋60℃	30~＋80℃	-10~＋80℃	-40℃~+50℃	30℃~+120℃	30℃~+50℃	-25℃~+90℃	30℃~+90℃	25℃~+160℃
控制系統(tǒng)	PLC控制器			PLC控制器			PLC控制器
控制模式	本體出液口溫控控制模式
	負(fù)載溫度控制模式（通信）
出口溫度控制精度	±0.1℃
冷卻能力	4kW@-10℃	6kW@冷卻水溫度+10℃	3kW@-10℃	20kW@-30℃	20kW@50℃	25kW@35℃	10kW@-10℃	10kW@30℃	4kW@100℃
	16kW@20℃		10kW@20℃
加熱能力	5.5kW	5.5kW	4kW	5.5kW	15kW	5.5kW	2kW	7.5kW	7.5kW
介質(zhì)類型、電阻率	氟化液			氟化液			氟化液
介質(zhì)流量壓力	17LPM@7bar	17LPM@7bar	17LPM@7bar	[email protected]	[email protected]	23LPM@10bar	[email protected]	[email protected]	[email protected]
介質(zhì)接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4
冷卻水	20℃@2.7m3/h@2~4bar	20℃@2.5m3/h@2~4bar	20℃@1.6m3/h@2~4bar	20℃@20m3/h@2~4bar	20℃@7m3/h@2~4bar		20℃@5m3/h@2~4bar
冷卻水接口	Rc3/4	Rc3/4	Rc3/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1 1/4	Rc1	Rc1	Rc1
通道溫度控制	PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨立控制
每組流量控制	15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能
流量顯示精度	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM	±0.5 LPM
水箱容積	40L	40L	40L	25L	25L	25L	25L	25L	25L
操作面板	7寸彩色觸摸屏			10寸彩色觸摸屏
安全防護(hù)	具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、電源過電流、過欠壓保護(hù)、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護(hù)、進(jìn)出液口壓力監(jiān)控及斷流保護(hù)
安全聯(lián)鎖裝置	EMO+INTERLOCK
上鎖掛牌裝置	LOTO
漏液檢測裝置	設(shè)備內(nèi)外部LEAK SENSON
通訊類型	支持MODBUS RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境	No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃?xì)怏w 30-70%(No condensation)
電源	220 VAC ± 10%，三相(可定制)			380 VAC ± 10%，三相(可定制)			380 VAC ± 10%，三相(可定制)
總用電功率	31kW（113A)			65kW（136A)			34kW（135A)
外殼材質(zhì)	冷軋板噴塑RAL7035			冷軋板噴塑RAL7035			冷軋板噴塑RAL7035
外形尺寸cm	70100185			115150210			105135195
非標(biāo)定制	帶自動吹掃功能、自動補(bǔ)液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足semi2/semiF47認(rèn)證