產(chǎn)品中心
Product Center

面板系列Panel Chiller

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面板系列Chiller應(yīng)?于刻蝕、蒸鍍、鍍膜?藝等，支持?流量?負(fù)載，確保極端?況下持續(xù)穩(wěn)定運(yùn)?；支持冷卻?動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)系統(tǒng)，可根據(jù)環(huán)境溫度與設(shè)備熱負(fù)荷，實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)?溫。
采用變頻智能節(jié)能控制，減少?效能耗；全?動(dòng)補(bǔ)液與?質(zhì)管理，缺液時(shí)?動(dòng)補(bǔ)液；符合三通道?藝設(shè)計(jì)要求，確保信號(hào)/流體的獨(dú)?傳輸與精準(zhǔn)控制。

帕爾貼Chiller

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冠亞恒溫LNEYA 帕爾貼熱電制冷器CHILLER溫度范圍從-20到90℃，專為半導(dǎo)體行業(yè)度身定制；

基于經(jīng)過(guò)實(shí)踐驗(yàn)證的帕爾貼熱傳導(dǎo)原理，帕爾貼溫度控制系統(tǒng)能夠?yàn)榈入x子刻蝕應(yīng)用提供可重復(fù)性的溫度控制；

對(duì)于靜電卡盤(ESC)動(dòng)態(tài)的溫度控制，使得其能夠應(yīng)用于所有類型的刻蝕工藝；

快速和準(zhǔn)確的溫度控制，能夠滿足任何嚴(yán)苛的工藝要求；

低能耗，空間占地小，同時(shí)還能夠穩(wěn)定的控制溫度。

負(fù)壓型控溫機(jī)組

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負(fù)壓型控溫設(shè)備是通過(guò)制造循環(huán)管道內(nèi)的負(fù)壓環(huán)境，實(shí)現(xiàn)管道內(nèi)的流體壓力在低于外界大氣壓的條件下循環(huán)，并且同時(shí)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫功能。
原理：通過(guò)負(fù)壓發(fā)生器驅(qū)動(dòng)導(dǎo)熱介質(zhì)（水/油等）循環(huán)，避免泄露風(fēng)險(xiǎn)，適用于各種類型的板卡冷卻。

FLTZH雙通道高溫Chiller

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冠亞恒溫LNEYA雙通道?溫控溫的Chiller，可以?來(lái)滿?半導(dǎo)體?溫測(cè)試需求，介質(zhì)溫度最?可達(dá)250℃，以特殊的?藝?式，保證系統(tǒng)?溫?況下的控溫精度。

ETCU無(wú)壓縮機(jī)換熱控溫單元

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CHILLER 是通過(guò)換熱器，將廠務(wù)水與載冷介質(zhì)進(jìn)行換熱，循環(huán)泵驅(qū)動(dòng)載冷介質(zhì)循環(huán)，并且同時(shí)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫功能，適用于光刻機(jī)、薄膜沉積設(shè)備、離子注入機(jī)等領(lǐng)域加熱冷卻。

LTZ變頻帶加熱系列

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LTZ變頻帶加熱系列，產(chǎn)品支持加熱功能，控溫范圍： -40℃～+90℃，控溫精度：±0.3℃。變頻機(jī)組采?先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和?機(jī)運(yùn)?轉(zhuǎn)速，通過(guò)電?膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。

LT-800 桌面款制冷循環(huán)器

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冠亞恒溫循環(huán)冷水機(jī)LT-800是為規(guī)模0.5L~2L小型實(shí)驗(yàn)室旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀設(shè)計(jì)的。占地面積小且節(jié)省實(shí)驗(yàn)室空間。它可以放在長(zhǎng)凳上或地板上。它在低溫條件下廣泛用于需要在低溫下進(jìn)行的化學(xué),生物和物理實(shí)驗(yàn)。

VOCs冷凝捕集回收

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應(yīng)?于?體冷凝液化回收。將VOCS?體或其他電??體通過(guò)引?機(jī)接?到設(shè)備，通過(guò)降低溫度液化捕集分離到收集罐中，其他?體排放，從?實(shí)現(xiàn)?體的冷凝捕集回收。

全氟聚醚油CLKDOC138

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全氟聚醚油常溫下為無(wú)色透明的油狀液體，耐高溫、耐化學(xué)腐蝕、抗氧化、抗輻射，主要用作潤(rùn)滑油、真空泵油，由于具有高的穩(wěn)定性、安全性，特別是在尤為苛刻條件下工作時(shí)所表現(xiàn)的高度可靠性，因此，沒(méi)有任何一種工作介質(zhì)能在如此嚴(yán)酷的環(huán)境下與全氟聚醚油相媲美。

冠亞高精度水冷機(jī)氟化液CLKDOC78

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氫氟醚是由氫、氟、氧和碳原子構(gòu)成的化合物，具有醚結(jié)構(gòu)，臭氧消耗潛能值ODP為零，全球暖化潛勢(shì)系數(shù)GWP低，且大氣停留時(shí)間很短，被認(rèn)為是CFCs 理想替代品。除優(yōu)良的環(huán)境性質(zhì)外，氫氟醚還具有熱穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性、適度的溶解性、毒性低、無(wú)腐蝕性、不燃、不產(chǎn)生煙塵、材料兼容性好等特點(diǎn)，易于貯藏和運(yùn)輸，被廣泛應(yīng)用于醫(yī)療、電子、金屬、精
密器械、光學(xué)鏡片、通信及航空航天等眾多領(lǐng)域。
氫氟醚CLKDOC78作為美國(guó)環(huán)境保護(hù)部（EPA）確定的氟利昂替代物清單（SNAP）清單中的清潔劑和冷媒，且已被EPA排除在揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOC）之列。可用于儀器、電子、半導(dǎo)體、醫(yī)療設(shè)備、航空航天等制造行業(yè)。