產(chǎn)品中心
Product Center

FLS常溫高精度系列

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

應(yīng)用：
原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進(jìn)行制冷加熱，可實(shí)現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機(jī)、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
1.高精度控溫：
采用PID算法或PLC控制，實(shí)現(xiàn)溫度波動(dòng)≤±0.005℃，適用于高精密制造場(chǎng)景。
2.多場(chǎng)景適配：
支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。

FLTZH高溫系列

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應(yīng)用：
CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨?，滿(mǎn)足半導(dǎo)體高溫測(cè)試需求。
核心技術(shù)與優(yōu)勢(shì)：
1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達(dá)300℃。
2、控溫精準(zhǔn)：采用智能算法，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。
3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動(dòng)等技術(shù)，實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。
4、氟化液損耗?。禾厥獾拿芊夂脱h(huán)設(shè)計(jì)，降低高溫下導(dǎo)致的氟化液揮發(fā)損耗。
5、潔凈度高：內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高，不含雜質(zhì)離子，對(duì)工藝制程不會(huì)產(chǎn)生任何污染。

FLTZ-U超純水溫控系列

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Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過(guò)兩個(gè)循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實(shí)現(xiàn)對(duì)目標(biāo)設(shè)備的精準(zhǔn)、穩(wěn)定溫度控制。

FLTRZ變頻環(huán)保系列

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高效節(jié)能:變頻壓縮機(jī)組通過(guò)內(nèi)置變頻裝置隨時(shí)根據(jù)用戶(hù)冷熱負(fù)荷需求改變直流壓縮機(jī)的運(yùn)行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機(jī)與電加熱滿(mǎn)負(fù)荷對(duì)抗，保持機(jī)組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。

快速制冷:變頻機(jī)組采用先進(jìn)的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機(jī)運(yùn)行轉(zhuǎn)速，通過(guò)電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。

超低噪音:變頻機(jī)組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機(jī)，大大降低回旋不平衡度，使機(jī)組的振動(dòng)非常小，約為常規(guī)壓縮。機(jī)的1/2，結(jié)合多重降噪措施，極度安靜。

環(huán)境適應(yīng)性高:變頻機(jī)組采用低頻啟動(dòng)，啟動(dòng)電流小，對(duì)電網(wǎng)沖擊小。對(duì)電壓的適應(yīng)性較強(qiáng)，可寬電壓范圍下啟動(dòng)。

壽命長(zhǎng):變頻機(jī)組不會(huì)頻繁啟停，有效降低機(jī)組啟停時(shí)的損耗，延長(zhǎng)機(jī)組壽命。

氟化液回收裝置

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氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計(jì)。采用品牌的壓縮機(jī)、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶(hù)端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進(jìn)行換熱，對(duì)氟化液進(jìn)行冷凝后回收。

AET高速光模塊熱流儀

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運(yùn)用于半導(dǎo)體測(cè)試平臺(tái)的高低溫測(cè)試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測(cè)試?yán)錈嵩础?br /> 非接觸測(cè)試:避免機(jī)械接觸對(duì)模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場(chǎng)均勻:流動(dòng)空氣包裹模塊，溫度梯度小;無(wú)磨損風(fēng)險(xiǎn):沒(méi)有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問(wèn)題;設(shè)備小5，方便移動(dòng)，插電即用;可與測(cè)試機(jī)進(jìn)行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號(hào))

芯片老化測(cè)試箱

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芯??化測(cè)試箱是?款專(zhuān)??于模擬芯?在極端環(huán)境下?作狀態(tài)的設(shè)備，通過(guò)準(zhǔn)確控制溫度、濕度等環(huán)境參數(shù)，模擬芯?在實(shí)際使?中可能遇到的?溫、?濕、?應(yīng)?等極端條件，加速芯?的?化過(guò)程，通過(guò)這種?式，可以在短時(shí)間內(nèi)篩選出早期失效的芯?，優(yōu)化設(shè)計(jì)?案，提升產(chǎn)品良率，確保芯?在?期使?中的穩(wěn)定性和可靠性。

接觸式高低溫測(cè)試機(jī)

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設(shè)備應(yīng)?溫度范圍-75~+200℃，?持從低溫到?溫的快速升溫和降溫，最快速率可達(dá)到75℃/min，能夠準(zhǔn)確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以?xún)?nèi)。
應(yīng)?于芯?研發(fā)：在芯?設(shè)計(jì)階段，驗(yàn)證其在不同溫度下的性能表現(xiàn)；
質(zhì)量控制：在芯??產(chǎn)過(guò)程中，進(jìn)?可靠性測(cè)試，確保產(chǎn)品符合標(biāo)準(zhǔn)；
失效分析：通過(guò)?低溫測(cè)試，分析芯?在極端溫度下的實(shí)效模式。

精密恒溫恒濕機(jī)組

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冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機(jī)組是?種能精準(zhǔn)控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號(hào)，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。

半導(dǎo)體、液晶和太陽(yáng)能電池板等設(shè)備的?產(chǎn)設(shè)施中使?的設(shè)備、?產(chǎn)流程、檢驗(yàn)流程及空間，需要?度精確和穩(wěn)定的空?處理。為了滿(mǎn)?這些需求，全區(qū)域空?處理將需要極?的相關(guān)費(fèi)?和維護(hù)成本。

機(jī)組采??品質(zhì)潔凈型?機(jī)、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染；可適配部分新?功能，更加?便滿(mǎn)?特殊使?環(huán)境的暖通要求，?能滿(mǎn)??藝要求；常年?作，可靠性更?。

FLTZ變頻多通道系列Chiller

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多通道獨(dú)立控溫，可以具備單獨(dú)的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨(dú)立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無(wú)壓縮機(jī)換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。