冷凍機-工業(yè)冷凍機-高低溫一體機
單通道系列 Single Channel Chiller
適用范圍
FLTZ系列單通道Chillers主要應用與半導體生產(chǎn)過程中及測試環(huán)節(jié)的溫度精準控制，公司在系統(tǒng)中應用多種算法（PID、前饋PID、無模型自建樹算法），實現(xiàn)系統(tǒng)快速響應、較高的控制精度。
Chillers的排吸氣溫度（壓力）、冷凝溫度、冷卻水溫度（壓力）、進出液體（氣體）溫度（壓力）、用電功率、各部件電流、電壓、水箱液位等重要信息均通過傳感器接入控制系統(tǒng)進行全面管理監(jiān)控記錄。
加載情況下控溫精度高，可在-100℃~+90℃之間任意切換，具有良好的溫度跟隨性；先進的低溫制冷技術(shù)，支持-100℃~ -80℃超低溫控溫。
品頁特點圖標-1.png)
產(chǎn)品參數(shù)
Product Parameter
| 型號 | FLTZ-001 FLTZ-001W |
FLTZ-002 FLTZ-002W |
FLTZ-003 FLTZ-003W |
FLTZ-004 FLTZ-004W |
FLTZ-006 FLTZ-006W |
FLTZ-008 FLTZ-008W |
FLTZ-010 FLTZ-010W |
FLTZ-015 FLTZ-015W |
| 溫度范圍 | 5℃～40℃(可擴展到90℃) | |||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | |||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | ||||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | |||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | |||||||
| 制冷量@20℃ | 2.5kW | 6kW | 9kW | 10kW | 15kW | 20kW | 25kW | 38kW |
| 加熱能力 | 0.5kW | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液或DI水等 | |||||||
| 制冷劑類型 | R404A、R410A或R448A | |||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 15LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 0.6m3/h@23℃ | 1.1m3/h@23℃ | 1.6m3/h@23℃ | 2.2m3/h@23℃ | 3.3m3/h@23℃ | 4.4m3/h@23℃ | 5.5m3/h@23℃ | 8m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | |||||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護 | |||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | |||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體 30-70%(No condensation) |
|||||||
| 電源 | 220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制) | 380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率（max） | 2.5kW | 4.5kW | 6kW | 7kW | 11kW | 15kW | 18.5kW | 25kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | |||||||
| 水冷外形尺寸cm | 40*90*100 | 48*100*115 | 48*100*115 | 50*108*130 | 50*108*140 | 80*100*165 | 90*110*165 | 100*120*165 |
| 非標定制 | 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設計滿足SEMI或CE等認證 | |||||||
| 型號 | FLTZ-202 FLTZ-202W |
FLTZ-203 FLTZ-203W |
FLTZ-204 FLTZ-204W |
FLTZ-206 FLTZ-206W |
FLTZ-208 FLTZ-208W |
FLTZ-210 FLTZ-210W |
FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | -25℃～90℃ | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@-15℃ | 1kW | 2kW | 2.5kW | 4kW | 6kW | 8kW | 12kW |
| 制冷量@-20℃ | 0.8kW | 1.5kW | 2kW | 3.5kW | 5kW | 6.5kW | 10kW |
| 加熱能力 | 1.5kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液 | ||||||
| 制冷劑類型 | R404A | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 15LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@3bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 1.1m3/h@23℃ | 1.6m3/h@23℃ | 2.2m3/h@23℃ | 3.3m3/h@23℃ | 4.4m3/h@23℃ | 5.5m3/h@23℃ | 8m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | ||||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護 | ||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體 30-70%(No condensation) |
||||||
| 電源 | 380?VAC?±?10%，三相/220?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率(max) | 4.5kW | 6kW | 7kW | 11kW | 15kW | 18.5kW | 25kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 水冷外形尺寸cm | 48*100*115 | 48*100*115 | 50*108*130 | 50*108*140 | 80*100*165 | 90*110*165 | 100*120*175 |
| 非標定制 | 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設計滿足SEMI或CE等認證 | ||||||
| 型號 | FLTZ-402 FLTZ-402W |
FLTZ-403 FLTZ-403W |
FLTZ-404 FLTZ-404W |
FLTZ-406 FLTZ-406W |
FLTZ-408 FLTZ-408W |
FLTZ-410 FLTZ-410W |
FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | -40℃～90℃ | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@-10℃ | 1.5kW | 3kW | 3.2kW | 5kW | 7kW | 9kW | 13kW |
| 制冷量@-30℃ | 0.6kW | 1kW | 1.3kW | 2kW | 2.8kW | 4kW | 5.5kW |
| 加熱能力 | 1kW | 1.5kW | 2kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液、乙二醇水溶液 | ||||||
| 制冷劑類型 | R404A | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 15LPM@3bar | 25LPM@3bar | 25LPM@3bar | 25LPM@3bar | 30LPM@5bar | 30LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 1.1m3/h@23℃ | 1.6m3/h@23℃ | 2.2m3/h@23℃ | 3.3m3/h@23℃ | 4.4m3/h@23℃ | 5.5m3/h@23℃ | 8m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | ||||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護 | ||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體 30-70%(No condensation) |
||||||
| 電源 | 380 VAC ± 10%，三相/220 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率（max） | 4.5kW | 6kW | 7kW | 11kW | 15kW | 18.5kW | 25kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 水冷外形尺寸cm | 48*100*115 | 50*108*140 | 50*108*140 | 50*108*150 | 80*100*165 | 90*110*165 | 100*120*175 |
| 非標定制 | 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設計滿足SEMI或CE等認證 | ||||||
| 型號 | FLTZ-803 FLTZ-803W |
FLTZ-805 FLTZ-805W |
FLTZ-806 FLTZ-806W |
FLTZ-808W | FLTZ-8010W | FLTZ-8015W | FLTZ-8025W |
| 溫度范圍 | -80℃～50℃(可擴展到100℃) | ||||||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||||||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||||||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||||||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||||||
| 制冷量@25℃ | 3kW | 4.5kW | 5kW | 6.5kW | 9kW | 14kW | 25kW |
| 制冷量@-55℃ | 1kW | 2.5kW | 2.8kW | 3.2kW | 4.8kW | 7.5kW | 10.2kW |
| 制冷量@-70℃ | 0.6kW | 1.2kW | 1.5kW | 2kW | 2.8kW | 5.5kW | 8kW |
| 加熱能力 | 1.5kW | 2.5kW | 3kW | 4kW | 5.5kW | 7.5kW | 11kW |
| 制冷劑類型 | R404A/R508B | ||||||
| 介質(zhì)類型 | 氟化液 | ||||||
| 介質(zhì)流量壓力 | 15LPM@3bar | 20LPM@3bar | 25LPM@3bar | 35LPM@5bar | 35LPM@5bar | 35LPM@5bar | 35LPM@5bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 2m3/h@23℃ | 3m3/h@23℃ | 3.6m3/h@23℃ | 4.8m3/h@23℃ | 7m3/h@23℃ | 10m3/h@23℃ | 15m3/h@23℃ |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 1/4 | Rc2 |
| 膨脹罐容積 | 15L | 15L | 15L | 30L | 30L | 40L | 40L |
| 流量控制 | 15LPM~25LPM | 15LPM~25LPM | 15LPM~30LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM | 20LPM~50LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 7寸彩色觸摸屏 | 10寸彩色觸摸屏 | |||||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護 | ||||||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||||||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體 30-70%(No condensation) |
||||||
| 電源 | 380?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||||||
| 總用電功率（max） | 8.5kW | 12.5kW | 16kW | 22kW | 27.5kW | 38kW | 60kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||||||
| 水冷外形尺寸cm | 65*90*165 | 70*95*175 | 70*95*175 | 80*120*185 | 80*120*185 | 100*130*185 | 120*160*195 |
| 非標定制 | 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設計滿足SEMI或CE等認證 | ||||||
| 型號 | FLTZ-1002W | FLTZ-1004W | FLTZ-1006W |
| 溫度范圍 | -100℃～90℃（(可擴展到100℃)） | ||
| 控制模式 | 循環(huán)液出口溫度控制 | ||
| 工件負載溫度控制（選配） | |||
| 出口控溫精度 | ±0.1℃（可定制±0.01℃控溫精度設備） | ||
| 工藝工程溫度控制 | 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫） | ||
| 制冷量@-90℃ | 1.5kW | 3kW | 6kW |
| 加熱能力 | 3.5kW | 5.5kW | 15kW |
| 介質(zhì)類型 | 氟化液 | ||
| 制冷劑類型 | 混合冷媒 | ||
| 介質(zhì)流量壓力 | 30LPM@6bar | 30LPM@6bar | 30LPM@6bar |
| 介質(zhì)接口 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 |
| 冷卻水 | 6.6m3/h | 10m3/h | 18m3/h |
| 冷卻水接口 | Rc1 | Rc1 1/2 | Rc2 |
| 膨脹罐容積 | 30L | 30L | 40L |
| 流量控制 | 20LPM~40LPM | 20LPM~40LPM | 20LPM~40LPM |
| 流量顯示精度 | ±0.5LPM | ±0.5LPM | ±0.5LPM |
| 操作面板 | 10寸彩色觸摸屏 | ||
| 安全防護 | 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、漏液報警、加熱系統(tǒng)保護、進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護 | ||
| 通訊類型 | 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。 | ||
| 安裝環(huán)境 | No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體 30-70%(No condensation) |
||
| 電源 | 380?VAC?±?10%，三相(可定制) | ||
| 總用電功率(max) | 20.5kW | 27.5kW | 55kW |
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑RAL7035 | ||
| 水冷外形尺寸cm | 80*120*185 | 100*150*185 | 120*160*195 |
| 非標定制 | 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設計滿足SEMI或CE等認證 | ||
1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。
2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請以機組銘牌參數(shù)為主。
3.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。
4.水冷設備需要閉式冷卻塔或冷水機供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar
應用原理：
CHILLER單通道變頻設備集成單級蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進行制冷加熱，并且同時實現(xiàn)精準控溫功能，為用戶提供相溫度的冷卻介質(zhì)，適用于刻蝕、光刻機、涂膠顯影設備等設備領(lǐng)域制冷加熱控溫。
核心技術(shù)與優(yōu)勢：
1.高效節(jié)能：設備可通過內(nèi)置變頻器根據(jù)用戶冷熱負荷自動調(diào)節(jié)泵及壓縮機頻率，保證機組運行狀態(tài)穩(wěn)定適配末端負載情況，避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，達到節(jié)能效果。
2.精準控溫： 采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.1℃，適用于精密制造場景。
3.多場景適配： 支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用（采用去離子水可滿足微電子領(lǐng)域用戶冷媒介質(zhì)低導電率需求)。
產(chǎn)品推薦
Recommendation
