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      氟化液回收裝置

      氟化液回收裝置

      適用范圍

      氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風冷設計。采用品牌的壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器等部件,形成制冷系統(tǒng)提供冷源,蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進行換熱,對氟化液進行冷凝后回收。

      全國服務熱線 400-100-3163

      控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式,可以顯示環(huán)境溫度,具有電源欠壓、缺相報警,機組本地觸摸屏可實現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。

      同時,觸摸屏可以實時顯示氟化液回收狀態(tài),幫助客戶科學管控氟化液的使用。

      本系統(tǒng)具有優(yōu)良的機電性能:控制精度高,性能穩(wěn)定,可靠性高;操作簡便,維護、維修方便。

       

      型號 FHY-HS01
      環(huán)境溫度 15℃-35℃
      環(huán)境濕度 不大于85%
      設備供電 單相220V/50HZ(可依據客戶要求定制)
      額定功率 1.8kW
      最大運行電流 10A
      冷卻方式 風冷
      噪聲 小于70dB
      制冷系統(tǒng)控溫精度 ±1℃
      真空泵排氣量 210L/min(Max)
      回收能力(氣態(tài)) 450ml(氣態(tài))/H(Max)
      回收時間 小于2小時
      氟化液凈損耗率 小于10%
      蓄冷罐容積 5L/8L
      制冷劑 R404A/1.2kg
      可回收氟化液類型 3M-7100、3M-7200、長蘆7100、長蘆7200等易揮發(fā)氟化液
      通訊方式 RS232/RS485/USB
      進出接口 Rc1/2
      循環(huán)回收系統(tǒng) 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng),低溫不吸收空氣中水份,不揮發(fā)導熱介質。
      操作界面 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數據導出
      外形尺寸 L:65cm;W:48cm;H:130cm??可依據客戶要求定制

      行業(yè)應用

      半導體FAB工藝過程控溫解決方案

      半導體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程,許多工藝步驟對溫度非常敏感。

      精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確,從而提高芯片的性能和良率。

      半導體封測工藝過程控溫解決方案

      半導體封測工藝是半導體生產流程中的關鍵環(huán)節(jié),包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性,還需要對溫度進行嚴格控制,以確保產品的質量和性能。