久久这里热精品在线观看j,国产无遮挡又黄又爽又刺激视频 ,久99久热爱精品免费视频37,国产精品99久久不卡二区,日韩最新最近中文字幕在线,久久国语露脸国产精品电影 http://www.cainiaoxianfei.cn -無錫冠亞恒溫制冷 Wed, 25 Mar 2026 06:29:12 +0000 zh-Hans hourly 1 https://wordpress.org/?v=6.9.4 http://www.cainiaoxianfei.cn/wp-content/uploads/2023/10/cropped-Lneya-logo-32x32.png 產(chǎn)品中心 – 冷凍機-工業(yè)冷凍機-高低溫一體機 http://www.cainiaoxianfei.cn 32 32 FLS常溫高精度系列 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chillerchangwengaojingdu.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chillerchangwengaojingdu.html#respond Tue, 24 Mar 2026 08:00:56 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller%e5%88%b6%e5%86%b7%e5%be%aa%e7%8e%af%e5%99%a8-%e5%b8%b8%e6%b8%a9%e9%ab%98%e7%b2%be%e5%ba%a6%e7%b3%bb%e5%88%97.html
FLS常溫高精度系列

產(chǎn)品中心

適用范圍

應(yīng)用：
原理：CHILLER 高精度系列設(shè)備集成蒸汽壓縮制冷系統(tǒng)與循環(huán)介質(zhì)系統(tǒng)，進行制冷加熱，可實現(xiàn)高精度控溫，適用于光刻機、涂膠顯影設(shè)備等領(lǐng)域制冷加熱控溫。
核心技術(shù)與優(yōu)勢：
1.高精度控溫：
采用PID算法或PLC控制，實現(xiàn)溫度波動≤±0.005℃，適用于高精密制造場景。
2.多場景適配：
支持氟化液、乙二醇水溶液、DI水等不同介質(zhì)使用。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

CHILLER常溫高精度系列
型號 FLS-001S
FLS-001WS		 FLS-002S
FLS-002WS		 FLS-003S
FLS-003WS		 FLS-004S
FLS-004WS		 FLS-006S
FLS-006WS		 FLS-008S
FLS-008WS		 FLS-010S
FLS-010WS
溫度范圍 15℃～25℃
控制模式 本體出液口溫控控制模式
工件負載溫度控制（選配）
出口控溫精度 ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
工藝工程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法結(jié)合來控制工件目標溫度（動態(tài)控溫）
制冷量@20℃ 2.5kW 6kW 9kW 10kW 15kW 20kW 25kW
介質(zhì)類型 氟化液、乙二醇水溶液、純凈水,DI水等
介質(zhì)流量壓力 15LPM@3bar 15LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@3bar 30LPM@5bar 30LPM@5bar
介質(zhì)接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
冷卻水 0.6m3/h@23℃ 1.1m3/h@23℃ 1.6m3/h@23℃ 2.2m3/h@23℃ 3.3m3/h@23℃ 4.4m3/h@23℃ 5.5m3/h@23℃
冷卻水接口 Rc3/8 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1
膨脹罐容積 10L 10L 10L 15L 15L 20L 25L
流量控制 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~25LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 15LPM~30LPM 20LPM~50LPM
流量顯示精度 ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM ±0.5LPM
操作面板 7寸彩色觸摸屏
安全防護 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、電流監(jiān)控、漏液報警進出液口壓力監(jiān)控及低液位保護
通訊類型 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境 No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體
30-70%(No condensation)
電源 220?VAC?±?10%，單相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)/380?VAC?±?10%，三相(可定制) 380?VAC?±?10%，三相(可定制)/220?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率（MAX） 2kW 3.5kW 4.5kW 5kW 7kW 10.5kW 12.5kW
外殼材質(zhì) 冷軋板噴塑RAL7035
水冷外形尺寸cm 40*80*100 40*80*115 50*95*130 50*95*130 50*100*140 80*100*165 90*110*165
非標定制 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能
可定制設(shè)計滿足SEMI認證

1.額定測試條件：?球溫度：20℃；濕球溫度：16℃。

2.此表數(shù)據(jù)僅供選型參考，如樣冊有更新恕不另行通知，請以機組銘牌參數(shù)為主。

3.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

4.水冷設(shè)備需要閉式冷卻塔或冷水機供水，如采用開式冷卻塔，必須增加過濾器。供水壓力1.5bar~4bar

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chillerchangwengaojingdu.html/feed 0 FLTZH高溫系列 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltzhhight.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltzhhight.html#respond Tue, 24 Mar 2026 07:57:58 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltzh%e9%ab%98%e6%b8%a9%e7%b3%bb%e5%88%97.html
FLTZH高溫系列

產(chǎn)品中心

適用范圍

應(yīng)用：
CHILLER高溫系列主要應(yīng)用與薄膜沉積領(lǐng)域，適用于CVD、PECVD、MOCVD等需要帶走高溫?zé)崃康墓に囍瞥讨校瑵M足半導(dǎo)體高溫測試需求。
核心技術(shù)與優(yōu)勢：
1、高溫范圍寬：出口溫度最高可達300℃。
2、控溫精準：采用智能算法，實現(xiàn)系統(tǒng)動態(tài)溫度快速響應(yīng)、控制精度±0.1℃（可選配±0.01℃），具有良好的溫度跟隨性。
3、節(jié)約能耗:采用變頻自適應(yīng)調(diào)節(jié)、軟啟動等技術(shù)，實現(xiàn)系統(tǒng)的高效節(jié)能。
4、氟化液損耗?。禾厥獾拿芊夂脱h(huán)設(shè)計，降低高溫下導(dǎo)致的氟化液揮發(fā)損耗。
5、潔凈度高：內(nèi)部管道酸洗鈍化潔凈度高，不含雜質(zhì)離子，對工藝制程不會產(chǎn)生任何污染。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

CHILLER高溫系列雙通道
型號 FLTZH-2W-2T FLTZH-5W-2T FLTZH-10W-2T FLTZH-5W-2T-HV
介質(zhì)溫度范圍 50℃～+220℃ 50℃～+220℃ 50℃～+220℃ 50℃～+300℃
控制系統(tǒng) PLC控制器
溫控點控制模式 本體出液口溫控控制模式
CHUCK溫度控制模式（通信）
溫差控制 可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議 MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋 通過通信
介質(zhì)出口溫控精度 ±0.1℃
CHUCK溫控精度 ±0.5℃
加熱功率 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW
冷卻能力 kW? AT 220 ℃ 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW
150 ℃ 2.5kW 2.5kW 5.5kW 5.5kW 10kW 10kW 5.5kW 5.5kW
100 ℃ 1.5kW 1.5kW 3.5kW 3.5kW 6kW 6kW 3.5kW 3.5kW
50 ℃ 0.5kW 0.5kW 1.1kW 1.1kW 2kW 2kW 1.1kW 1.1kW
流量/壓力 8LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar 15LPM 4bar 15LPM 4bar 8LPM 4bar 8LPM 4bar
操作面板 7寸觸摸屏
安全防護 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護
密閉循環(huán)系統(tǒng) 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。
接口尺寸 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4 Rc1/2 Rc1/2
冷卻水接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc1/2
冷卻水流量 20LPM max? at 25℃ 40LPM max? at 25℃ 70LPM max? at 25℃ 40LPM max? at 25℃
外殼材質(zhì) 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035
導(dǎo)熱介質(zhì) 氟化液 氟化液 氟化液 氟化液
外形尺寸 cm 45*85*130 45*85*145 55*105*160 45*110*145
電源 220V 三相四線制 32A 220V 三相四線制 32A 220V 三相四線制 32A 220V 三相四線制 32A

 

CHILLER高溫系列單通道
型號 FLTZH-5W FLTZH-10W
介質(zhì)溫度范圍 50℃～+220℃ 50℃～+220℃
控制系統(tǒng) PLC控制器 PLC控制器
溫控點控制模式 本體出液口溫控控制模式 本體出液口溫控控制模式
CHUCK本體溫度控制模式（通信） CHUCK本體溫度控制模式（通信）
溫差控制 可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差 可設(shè)定控制目標控制溫度點與本體出液口溫度溫差
通信協(xié)議 MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口 MODBUS RTU 協(xié)議 ?RS 485接口，以太網(wǎng)接口
外接入溫度反饋 通過通信 通過通信
介質(zhì)出口溫控精度 ±0.1℃ ±0.1℃
CHUCK溫控精度 ±0.5℃ ±0.5℃
加熱功率 5.5kW 10kW
冷卻能力 kW? AT 220 ℃ 5.5kW 10kW
150 ℃ 5.5kW 10kW
100 ℃ 3.5kW 6kW
50 ℃ 1.1kW 2kW
流量/壓力 8LPM 4bar 8LPM 4bar
操作面板 7寸觸摸屏 7寸觸摸屏
安全防護 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護
密閉循環(huán)系統(tǒng) 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，高溫時不會有油霧、低溫不吸收空氣中水份，系統(tǒng)在運行中不會因為高溫使壓力上升，低溫自動補充導(dǎo)熱介質(zhì)。
接口尺寸 Rc1/2 Rc3/4
冷卻水接口 Rc1/2 Rc3/4
冷卻水流量 20LPM max? at 25℃ 35LPM max? at 25℃
外殼材質(zhì) 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035
導(dǎo)熱介質(zhì) 氟化液 氟化液
外形尺寸 cm 45*85*90 55*105*120
電源 220V 三相四線制 32A 220V 三相四線制 32A

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltzhhight.html/feed 0 FLTZ-U超純水溫控系列 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltz-uchaochunshui.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltz-uchaochunshui.html#respond Tue, 24 Mar 2026 07:49:51 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltz-u%e8%b6%85%e7%ba%af%e6%b0%b4%e6%b8%a9%e6%8e%a7%e7%b3%bb%e5%88%97.html
FLTZ-U超純水溫控系列

產(chǎn)品中心

適用范圍

Chiller是由緊密耦合的制冷循環(huán)與介質(zhì)循環(huán)兩大核心系統(tǒng)構(gòu)成，通過兩個循環(huán)通道間的介質(zhì)高效換熱，實現(xiàn)對目標設(shè)備的精準、穩(wěn)定溫度控制。

 

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

原理：制冷劑在系統(tǒng)中循環(huán)，通過壓縮、冷凝、節(jié)流和蒸發(fā)四個過程實現(xiàn)制冷；

同時，載冷劑（介質(zhì)）在獨立的循環(huán)管路中流動，通過板換換熱器將冷量持續(xù)輸送給目標設(shè)備，并循環(huán)使用。

CHILLER超純水溫控系列
型號 FLTZ-U-003W FLTZ-U-D001W FLTZ-U-D002W FLTZ-U-D003W
通道類型 1-loop?independent 2-loop?independent 2-loop?independent 2-loop?independent
性能參數(shù) 通道型號 CH1 CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2
循環(huán)方式 沖洗型 循環(huán)型 循環(huán)型 循環(huán)型 沖洗型 循環(huán)型 沖洗型
溫度范圍 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃ 15~40℃
溫度控制精度 ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃ ±0.1℃
冷卻能力 9.4kW@20℃ 0.6kW@20℃ 0.6kW@20℃ 1.5kW@20℃ 6.3kW@20℃ 3kW@20℃ 6.2kW@20℃
加熱能力 10kW 0.6kW 2kW 1.5kW 12.5kW 3kW 12.5kW
循環(huán)液類型/電阻率 DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm DI?WATER@10~18MΩ·cm
循環(huán)液流量壓力 45LPM@0.4MPa 6LPM@0.45MPa 10LPM@0.43MPa 15LPM@0.45MPa 25LPM@0.43MPa 18LPM@0.45MPa 30LPM@0.43MPa
循環(huán)液接口 Rc3/4 Rc3/8 Rc3/8 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4
PCW溫度 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃ 18~22℃
PCW流量 2m3/h 1.3m3/h 1.3m3/h 2m3/h 2m3/h 3.8m3/h 3.8m3/h
PCW壓力 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar 2~6bar
PCW接口 Rc3/4 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
安全裝置 過載保護功能 壓縮機、循環(huán)泵、加熱器等熱過載保護。
電源保護功能 電源過電流、過欠壓、缺相等保護
液位保護 低流量、低液位等保護
安全聯(lián)鎖裝置 EMO+INTERLOCK
上鎖掛牌裝置 LOTO裝置
漏液檢測裝置 設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON
通訊類型 支持多種通訊協(xié)議 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議或ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境 環(huán)境溫度 10~40℃
環(huán)境濕度 30~70%RH
電源 220VAC±10%，三相(可定制)
外形尺寸cm 45*90*150 43*90*150 45*120*150 65*115*170

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltz-uchaochunshui.html/feed 0 FLTRZ變頻環(huán)保系列 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltrzbianpinhuanbao.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltrzbianpinhuanbao.html#respond Tue, 24 Mar 2026 07:32:21 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltrz%e5%8f%98%e9%a2%91%e7%8e%af%e4%bf%9d%e7%b3%bb%e5%88%97.html
FLTRZ變頻環(huán)保系列

產(chǎn)品中心

適用范圍

高效節(jié)能:變頻壓縮機組通過內(nèi)置變頻裝置隨時根據(jù)用戶冷熱負荷需求改變直流壓縮機的運行轉(zhuǎn)速，從而避免壓縮機與電加熱滿負荷對抗，保持機組穩(wěn)定的工作狀態(tài)。

快速制冷:變頻機組采用先進的變頻技術(shù)，精確控制壓縮和風(fēng)機運行轉(zhuǎn)速，通過電子膨脹閥智能調(diào)節(jié)，快速制冷。

超低噪音:變頻機組采用變頻渦旋或雙轉(zhuǎn)子壓縮機，大大降低回旋不平衡度，使機組的振動非常小，約為常規(guī)壓縮。機的1/2，結(jié)合多重降噪措施，極度安靜。

環(huán)境適應(yīng)性高:變頻機組采用低頻啟動，啟動電流小，對電網(wǎng)沖擊小。對電壓的適應(yīng)性較強，可寬電壓范圍下啟動。

壽命長:變頻機組不會頻繁啟停，有效降低機組啟停時的損耗，延長機組壽命。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

產(chǎn)品型號 FLTRZ-001W FLTRZ-003W FLTRZ-006W FLTRZ-011W
FLTRZ-001 FLTRZ-003 FLTRZ-006 FLTRZ-011
介質(zhì)溫度范圍 +10℃?+25℃
導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
制冷量AT 10℃ 3kW 7kW 13kW 25kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。
2.額定測試條件：進?溫度：20℃；出?溫度：25℃；
3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-001WS FLTRZ-003WS FLTRZ-006WS FLTRZ-011WS
FLTRZ-001S FLTRZ-003S FLTRZ-006S FLTRZ-011S
介質(zhì)溫度范圍 +10℃?+25℃
導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.005℃（出口溫度穩(wěn)態(tài)）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
制冷量AT 10℃ 3kW 7kW 13kW 25kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液、純水DI等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 5600L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。
2.額定測試條件：進?溫度：20℃；出?溫度：25℃；
3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于32℃，提供冷卻水溫度不能高于32℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-201W FLTRZ-203W FLTRZ-206W FLTRZ-211W
介質(zhì)溫度范圍 -25℃?90℃
導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
流量 30~60L/min 60~120L/min
制冷量
kW?at		 90℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
50℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
0℃ 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW
-10℃ 2.1kW 5.2kW 9.5kW 19kW
-20℃ 1.3kW 3.4kW 6.2kW 12.4kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50&60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-401W FLTRZ-403W FLTRZ-406W FLTRZ-411W
介質(zhì)溫度范圍 -40℃?90℃
導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
流量 30~60L/min 60~120L/min
制冷量
kW?at		 90℃ 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW
50℃ 3.5kW 7.5kW 13kW 25kW
0℃ 2.7kW 6.4kW 11.7kW 22.5kW
-15℃ 1.5kW 3.7kW 6.8kW 13kW
-25℃ 1kW 2.6kW 5kW 9.6kW
-35℃ 0.2kW 0.7kW 1.5kW 3kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度15度		 冷卻水量 700L/H 1650L/H 3200L/H 6000L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.提供冷卻水溫度不能高于15℃，冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

產(chǎn)品型號 FLTRZ-801W FLTRZ-803W FLTRZ-806W FLTRZ-811W
介質(zhì)溫度范圍 -70℃?90℃
導(dǎo)熱介質(zhì)溫控精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃）
壓縮機 壓縮機(變頻控制)
節(jié)流方式 電子膨脹閥
流量 30~60L/min 60~120L/min
制冷量
kW?at		 90℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
20℃ 3kW 7.5kW 13kW 25kW
-55℃ 0.6kW 1.8kW 3.5kW 7kW
-65℃ 0.3kW 0.9kW 1.81kW 4kW
內(nèi)循環(huán)容積 4L 5L 8L 12L
膨脹罐容積 10L 10L 15L 25L
制冷劑 R744(二氧化碳)/R508B
載冷劑 硅油、氟化液等
進出口接管尺寸 M24*1.5 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5
?冷型（w）
溫度15度		 冷卻水量 900L/H 2250L/H 4400L/H 8000L/H
接管尺寸 M30*1.5 M38*1.5 M38*1.5 M45*1.5
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz/三相220V 50/60Hz/
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz		 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

型號 FLTRZ-D-D3D3W
管道 通道1 通道2
溫度范圍 -25℃?+90℃ -25℃?+90℃
控溫精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃） ±0.1℃（可定制±0.01℃）
制冷量AT -10℃ 5.2kW 5.2kW
制冷量AT -20℃ 3.4kW 3.4kW
導(dǎo)熱介質(zhì)接口 M30*1.5
?冷型（w）
溫度20度		 冷卻水量 3300L/H
接管尺寸 M38*1.5
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 單相220V 50Hz
三相220V 50&60Hz
三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.支持多通道定制，如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

 

型號 FLTRZ-D-E6E6W
管道 通道1 通道2
溫度范圍 -40℃?+90℃ -40℃?+90℃
控溫精度 ±0.1℃（可定制±0.01℃） ±0.1℃（可定制±0.01℃）
制冷量AT -15℃ 6.8kW 6.8kW
制冷量AT -35℃ 2.2kW 2.2kW
導(dǎo)熱介質(zhì)接口 M38*1.5
?冷型（w）
溫度15度		 冷卻水量 6000L/H
接管尺寸 M45*1.5
載冷劑 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等
制冷劑 二氧化碳：GWP（全球變暖潛能值為1）和ODP（臭氧層消耗潛能值為0）
工藝過程溫度控制 可根據(jù)自創(chuàng)無模型自建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程目標溫度
標準電源 三相380V 50Hz/三相460V 60Hz
1.名稱含W表示水冷，不含則為風(fēng)冷。
2.額定測試條件：進?溫度：15℃；出?溫度：20℃；
3.設(shè)備環(huán)境溫度不能高于23℃，提供冷卻水溫度不能高于23℃，環(huán)境溫度/冷卻水溫過高將影響設(shè)備的最低使用溫度。
4.此表數(shù)據(jù)僅供參考，請以機組銘牌參數(shù)為主。
5.支持多通道定制，如需特殊?標品定制，請與我司聯(lián)系。

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fltrzbianpinhuanbao.html/feed 0 氟化液回收裝置 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fuhuayehuishouzhuangzhi.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fuhuayehuishouzhuangzhi.html#respond Tue, 24 Mar 2026 07:21:37 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/%e6%b0%9f%e5%8c%96%e6%b6%b2%e5%9b%9e%e6%94%b6%e8%a3%85%e7%bd%ae.html
氟化液回收裝置

產(chǎn)品中心

適用范圍

氟化液回收系統(tǒng)采用一體式風(fēng)冷設(shè)計。采用品牌的壓縮機、冷凝器、蒸發(fā)器等部件，形成制冷系統(tǒng)提供冷源，蒸發(fā)器與客戶端氟化液循環(huán)系統(tǒng)進行換熱，對氟化液進行冷凝后回收。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

控制系統(tǒng)采用PLC加觸摸屏方式，可以顯示環(huán)境溫度，具有電源欠壓、缺相報警，機組本地觸摸屏可實現(xiàn)所有溫度監(jiān)視功能。

同時，觸摸屏可以實時顯示氟化液回收狀態(tài)，幫助客戶科學(xué)管控氟化液的使用。

本系統(tǒng)具有優(yōu)良的機電性能:控制精度高，性能穩(wěn)定，可靠性高;操作簡便，維護、維修方便。

 

型號 FHY-HS01
環(huán)境溫度 15℃-35℃
環(huán)境濕度 不大于85%
設(shè)備供電 單相220V/50HZ（可依據(jù)客戶要求定制）
額定功率 1.8kW
最大運行電流 10A
冷卻方式 風(fēng)冷
噪聲 小于70dB
制冷系統(tǒng)控溫精度 ±1℃
真空泵排氣量 210L/min(Max)
回收能力（氣態(tài)） 450ml（氣態(tài)）/H（Max）
回收時間 小于2小時
氟化液凈損耗率 小于10%
蓄冷罐容積 5L/8L
制冷劑 R404A/1.2kg
可回收氟化液類型 3M-7100、3M-7200、長蘆7100、長蘆7200等易揮發(fā)氟化液
通訊方式 RS232/RS485/USB
進出接口 Rc1/2
循環(huán)回收系統(tǒng) 整個系統(tǒng)為全密閉系統(tǒng)，低溫不吸收空氣中水份，不揮發(fā)導(dǎo)熱介質(zhì)。
操作界面 無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
外形尺寸 L：65cm；W：48cm；H：130cm??可依據(jù)客戶要求定制

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/fuhuayehuishouzhuangzhi.html/feed 0 AET高速光模塊熱流儀 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/aetgaosureliuyi.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/aetgaosureliuyi.html#respond Tue, 24 Mar 2026 07:10:42 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/aet%e9%ab%98%e9%80%9f%e5%85%89%e6%a8%a1%e5%9d%97%e7%83%ad%e6%b5%81%e4%bb%aa.html
AET高速光模塊熱流儀

產(chǎn)品中心

適用范圍

運用于半導(dǎo)體測試平臺的高低溫測試。電子設(shè)備高溫低溫恒溫測試冷熱源。
非接觸測試:避免機械接觸對模塊的壓力，更適合某些精密或特殊封裝模塊;熱場均勻:流動空氣包裹模塊，溫度梯度小;無磨損風(fēng)險:沒有接觸式TEC的反復(fù)壓接磨損問題;設(shè)備小5，方便移動，插電即用;可與測試機進行高度交互，可控工件Tc和Tj(需給入芯片溫度信號)

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

設(shè)備型號 AET-50
溫度范圍 0℃~+70℃
溫度精度 ±0.5℃
升降溫能? 具備?溫70℃直接降溫技術(shù)，滿??標在?溫運?時迅速進?降溫能?。
制冷能? 50W@0C
操控?板 4.3?觸摸屏
控制器 PLC可編程控制器，標配?持ModbuSRTU協(xié)議，RS485接?，可選擇其他通信協(xié)議。
標準電源 單相220V?50Hz
設(shè)備外形尺?mm 490*255*285
運??式 直吹/循環(huán)?
安全保護 具有熱保護裝置，保護設(shè)備安全

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

航空航天材料|試驗裝置控溫解決方案

在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進步，對航空航天材料的要求也越來越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/aetgaosureliuyi.html/feed 0 芯片老化測試箱 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chamber/ic-chamber.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chamber/ic-chamber.html#respond Tue, 22 Jul 2025 06:39:54 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/%e8%8a%af%e7%89%87%e8%80%81%e5%8c%96%e6%b5%8b%e8%af%95%e7%ae%b1.html
芯片老化測試箱

產(chǎn)品中心

適用范圍

芯??化測試箱是?款專??于模擬芯?在極端環(huán)境下?作狀態(tài)的設(shè)備，通過準確控制溫度、濕度等環(huán)境參數(shù)，模擬芯?在實際使?中可能遇到的?溫、?濕、?應(yīng)?等極端條件，加速芯?的?化過程，通過這種?式，可以在短時間內(nèi)篩選出早期失效的芯?，優(yōu)化設(shè)計?案，提升產(chǎn)品良率，確保芯?在?期使?中的穩(wěn)定性和可靠性。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

內(nèi)箱尺寸(W*H*D) cm 60*138*65 左腔體60*138*65 60*138*65 60*138*65 左腔體60*138*65
右腔體60*138*65 右腔體60*138*65
溫度范圍 RT+10℃~+150℃ ?-20℃~+150℃ ?-40℃~+150℃ ?-40℃~+150℃
升溫速率 RT+10℃→+125℃線性2℃/ min -20℃→+125℃ 線性2℃/ min -40℃→+125℃ 線性2℃/ min
降溫速率 +125℃→RT+10℃線性2℃/ min +125℃→-20℃線性2℃/ min +125℃→-40℃線性2℃/ min
負載 24層10kW(層數(shù)可定制）
溫度波動度 出風(fēng)口控溫精度≤0.2℃
溫度均勻度 ≤1℃? （空載）
≤±3℃? （滿載10kW）
制冷劑 R404A R404A R404A R404A/R23 R404A/R23
視窗 300*117
加熱器 電加熱
水冷型冷凝器 板式換熱器
空氣循環(huán) 加長軸電機，不銹鋼離心風(fēng)葉
制冷方式 單級制冷 單級制冷 單級制冷 復(fù)疊制冷 復(fù)疊制冷
壓縮機 品牌變頻壓縮機
控制方式 分段模糊PID算法控制
通信協(xié)議接口 TCP/RS485 (CAN可定制)
操作面板 7寸彩色觸摸屏,溫度曲線顯示\EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
傳感器 PT100A級鉑電阻
保護裝置 加熱器雙溫保護，制冷系統(tǒng)統(tǒng)保護及電器過流過載保護等
外箱尺寸 (W*H*D) cm 228*210*200 456*210*200 228*210*200 228*210*200 456*210*200
電源 380V 50HZ
保溫材質(zhì) 玻璃纖維棉&聚氨酯
內(nèi)箱材質(zhì) SUS304不銹鋼
外箱材質(zhì) 冷軋鋼板+噴塑
執(zhí)行滿足標準 GB/T 2423.1;GB/T 2423.2;GB/T 2423.3;GB/T 2423.4;GB/T 5170.2;GB/T 5170.5;GB/T 11158;GB/T 10589;GB/T 10592; GB/T 10586;IEC 60068-3-5

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chamber/ic-chamber.html/feed 0 接觸式高低溫測試機 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-zlkw/ksd.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-zlkw/ksd.html#respond Tue, 22 Jul 2025 05:40:43 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-zlkw/%e6%8e%a5%e8%a7%a6%e5%bc%8f%e2%be%bc%e4%bd%8e%e6%b8%a9%e6%b5%8b%e8%af%95%e6%9c%ba.html
接觸式高低溫測試機

產(chǎn)品中心

適用范圍

設(shè)備應(yīng)?溫度范圍-75~+200℃，?持從低溫到?溫的快速升溫和降溫，最快速率可達到75℃/min，能夠準確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。
應(yīng)?于芯?研發(fā)：在芯?設(shè)計階段，驗證其在不同溫度下的性能表現(xiàn)；
質(zhì)量控制：在芯??產(chǎn)過程中，進?可靠性測試，確保產(chǎn)品符合標準；
失效分析：通過?低溫測試，分析芯?在極端溫度下的實效模式。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

 

設(shè)備型號 KSD-705-A KSD-705-B KSD-710
溫度范圍 -70℃~200℃ -75℃~+200℃ -75℃~200℃
溫度精度 ±0.2℃
升降溫速率 最高達50℃/min 最高達75℃/min 最高達75℃/min
制冷能力 0℃ 250W 1000W 2000W
?-40℃ 150W 800W 1500W
?-55℃ 100W 450W 900W
測試壓頭規(guī)格 75*75mm 75*75mm 120*120mm
溫度監(jiān)測類型 T型/K型/PT100
控溫點位置 Plunger表面溫度、實際芯片結(jié)溫（需要客戶接入）
操控?板 7寸觸摸屏
控制器 PLC可編程控制器，標配支持ModbuSRTU協(xié)議，RS485接口，可選擇其他通信協(xié)議
標準電源 單相AC220V 50/60Hz 三相AC380V 50Hz 三相AC380V 50Hz
設(shè)備外形尺?mm 465*600*365 600*860*760 600*860*760
測試件受?調(diào)節(jié) 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 測試架外置氣缸
CDA要求 配置 LNEYA Dryer 氣體干燥器系列
通訊 Modbus RTU /TCP 、Prfibus DP 、CAN 、Rrofinet

 

設(shè)備型號 KSDR-705-B KSDR-710
溫度范圍 -75℃~+200℃ -75℃~200℃
溫度精度 ±0.2℃
升降溫速率 最高達75℃/min 最高達75℃/min
制冷能力 0℃ 1000W 2000W
?-40℃ 800W 1500W
?-55℃ 450W 900W
測試壓頭規(guī)格 75*75mm 120*120mm
溫度監(jiān)測類型 T型/K型/PT100
控溫點位置 Plunger表面溫度、實際芯片結(jié)溫（需要客戶接入）
操控?板 7寸觸摸屏
制冷劑 R744(二氧化碳)/R508B
控制器 PLC可編程控制器，標配支持ModbuSRTU協(xié)議，RS485接口，可選擇其他通信協(xié)議
標準電源 三相AC380V?? 50Hz 三相AC380V?? 50Hz
設(shè)備外形尺?mm 600*860*760 600*860*760
測試件受?調(diào)節(jié) 配置 Z軸氣動執(zhí)行器 測試架外置氣缸
CDA要求 配置 LNEYA Dryer 氣體干燥器系列
通訊 Modbus RTU /TCP 、Prfibus DP 、CAN 、Rrofinet

 

設(shè)備應(yīng)?溫度范圍-75~200℃，?持從極低溫到?溫的快速升溫和降溫?？焖俾士蛇_到75℃/min。能夠精確的控制溫度，誤差通常在±0.2℃以內(nèi)。
應(yīng)?于芯?研發(fā)：在芯?設(shè)計階段，驗證其在不同溫度下的性能表現(xiàn)。
質(zhì)量控制：在芯??產(chǎn)過程中，進?可靠性測試，確保產(chǎn)品符合標準。
失效分析：通過?低溫測試，分析芯?在極端溫度下的實效模式

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

航空航天材料|試驗裝置控溫解決方案

在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進步，對航空航天材料的要求也越來越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-zlkw/ksd.html/feed 0 精密恒溫恒濕機組 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-qtkw/ultra-precision-ac.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-qtkw/ultra-precision-ac.html#respond Tue, 22 Jul 2025 03:02:53 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-qtkw/%e7%b2%be%e5%af%86%e6%81%92%e6%b8%a9%e6%81%92%e6%b9%bf%e6%9c%ba%e7%bb%84.html
精密恒溫恒濕機組

產(chǎn)品中心

適用范圍

冠亞恒溫LNEYA精密恒溫恒濕機組是?種能精準控制環(huán)境溫、濕度的空?調(diào)節(jié)設(shè)備，提供兩款設(shè)備型號，常規(guī)水冷款和迷你型風(fēng)冷款。

半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池板等設(shè)備的?產(chǎn)設(shè)施中使?的設(shè)備、?產(chǎn)流程、檢驗流程及空間，需要?度精確和穩(wěn)定的空?處理。為了滿?這些需求，全區(qū)域空?處理將需要極?的相關(guān)費?和維護成本。

機組采??品質(zhì)潔凈型?機、潔凈型箱體、?藝，避免?次環(huán)境污染；可適配部分新?功能，更加?便滿?特殊使?環(huán)境的暖通要求，?能滿??藝要求；常年?作，可靠性更?。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

精密恒溫恒濕機組（水冷）

1、溫度和濕度控制可適用于不同的設(shè)定溫度下，亦可以在一個固定的使用溫、濕度下恒定工作。
2、機組可以根據(jù)實際情況，配比一定的新風(fēng)量以滿足暖通新風(fēng)要求，加濕量匹配最大新風(fēng)量。
3、精密型恒溫恒濕機組使用新、回風(fēng)溫濕度范圍。
4、在最大額定工藝風(fēng)量下運行時，送風(fēng)機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓；也可以根據(jù)末端是否配置有FFU調(diào)整
5、40°f相當(dāng)于的400ppm 的CaCO3 。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計規(guī)范》GB50050-95
7、送風(fēng)管道必須保溫處理，現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度， 有關(guān)可能的詳細信息，請參閱操作手冊
型號 LWX-0010-BW LWX-0030-BW LWX-0050-BW LWX-0070-BW LWX-0090-BW LWX-0100-BW
額定處理風(fēng)量 m3/h 1000 3000 5000 7000 9000 10000
適用設(shè)備艙體最大體積 m3 5～10 20～30 40～50 60～70 80～90 90～100
可設(shè)定溫、濕度范圍 ℃/%RH 22～24?? /?? 45%RH～60%RH
溫度控制精度 ℃ ±0.1(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
濕度控制精度 %RH ±1 %RH
最大制冷量 kW 3kW /@25℃ 7kW /@25℃ 12kW /@25℃ 16kW /@25℃ 21kW /@25℃ 23kW /@25℃
最大加濕量 Kg/h 2 5 6 8 10 10
最大機組外送風(fēng)靜壓 Pa 0～200 0～250 0～300
使用環(huán)境溫、濕度范圍 ℃/%RH 23±2 ℃ /?? 40%RH～60%RH
送風(fēng)口接管直徑 mm φ200 φ300 φ400 φ450 φ500
加濕補水管接口 / Rc3/4
機組排污管接口 / Rc1/2
加濕供水溫度范圍 ℃ 10～40
加濕補水壓力值 bar 1～4
加濕補水水質(zhì)要求 / *導(dǎo)電率75～1250μs/cm????? *水硬度不高于40°f????????? *無有機化合物
冷卻水溫度 ℃ 18～22
冷卻水接管 / Rc1/2 Rc3/4 Rc1
電源供應(yīng) V/Hz 3～380v±10%; 50Hz±5Hz??三相五線制
機組額定輸入功率 kW 1 2.5 3 3.5 4.5 4.5
機組噪音值 dB(A) ≤75 ≤80
機組最大輸入功率 kWA 2.5 6 8 10 12 12
冷媒/充注量 Kg R410A/1.5 R410A/2 R410A/2.5 R410A/3 R410A/4 R410A/4
安全保護功能 電源過、欠壓 ； 逆、缺相保護； 電機過熱、過載保護； 壓縮機排氣溫度過高保護；?????????????????? 系統(tǒng)高壓保護； 系統(tǒng)低壓保護、溫度模塊故障保護、可調(diào)式超溫保護，風(fēng)機電機過熱保護等

 

型號 LW-0010-BW LW-0030-BW LW-0050-BW LW-0070-BW LW-0090-BW LW-0100-BW
額定處理風(fēng)量 m3/h 1000 3000 5000 7000 9000 10000
適用設(shè)備艙體最大體積 m3 5～10 20～30 40～50 60～70 80～90 90～100
可設(shè)定溫度范圍 ℃ 21～24 ℃
溫度控制精度 ℃ ±0.1(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
最大制冷量 kW 2kW /@25℃ 5kW /@25℃ 9kW /@25℃ 12kW /@25℃ 15kW /@25℃ 17kW /@25℃
最大機組外送風(fēng)靜壓 Pa 0～200 0～250 0～300
使用環(huán)境溫、濕度范圍 ℃/%RH 23±2 ℃ /?? 40%RH～60%RH
送風(fēng)口接管直徑 mm φ200 φ300 φ400 φ450 φ500
機組排污管接口 / Rc1/2
冷卻水溫度⑥ ℃ 18～22
冷卻水接管 Rc1/2 Rc3/4 Rc1
電源供應(yīng) V/Hz 3～380v±10%; 50Hz±5Hz??三相五線制
機組額定輸入功率 kW 1 2 2.5 3 4 4
機組噪音值 dB(A) ≤75 ≤80
機組最大輸入功率 kWA 2 4 6 8 10 10
冷媒/充注量 Kg R410A/1.5 R410A/2 R410A/2.5 R410A/3 R410A/4 R410A/4
安全保護功能 電源過、欠壓 ； 逆、缺相保護； 電機過熱、過載保護； 壓縮機排氣溫度過高保護； 系統(tǒng)高壓保護；系統(tǒng)低壓保護、溫度模塊故障保護、可調(diào)式超溫保護，風(fēng)機電機過熱保護等

 

迷你型精密恒溫恒濕機組（風(fēng)冷）

產(chǎn)品型號 LMW-01BS LMWX-01BS LMW-03BT LMWX-03BT
額定處理風(fēng)量 m3/min 0.7～1.0 2.0～4.0
可設(shè)定溫濕度范圍 ℃/ %RH 21～25 21～25;45%RH～60%RH 21～25 21～25；45%RH～60%RH
溫度控制精度 ℃/ %RH ±0.1（可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備）
濕度控制精度 ?%RH / ±1%RH / ±1%RH
最大制冷量(50/60Hz） kW 0.2/0.25 0.37/0.45 1.3 1.3
再熱量(50/60Hz） kW 0.1/0.13 0.4 0.5 0.7
最大加濕能力 Kg/h / 0.8 / 2.3
加濕供水溫度范圍 ℃ / 10～40 / 10～40
加濕補水管接口 / / Rc1/2 / Rc1/2
加濕補水壓力值 bar / 0.3～2 / 0.3～2
水質(zhì)要求 / / *導(dǎo)電率125～1250μs/cm

*水硬度不高于40°f

*無有機化合物

 / *導(dǎo)電率125～1250μs/cm

*水硬度不高于40°f

*無有機化合物
最大機外送風(fēng)靜壓 Pa 120/130 120/160 110/150 110/150
送風(fēng)口接管直徑 mm φ75 φ100 φ100 φ100
設(shè)備使用環(huán)境溫度 ℃/ %RH 20～25；45%RH～60%RH
使用環(huán)境溫度精度范圍 ℃/ %RH ±1；±5%RH
電源供應(yīng) V/Hz 1～220v±10%; 50/60Hz±5Hz 3～380v±15%; 50Hz±5Hz
機組額定輸入功率 kW 0.32/0.34 1.2/1.2 0.75 2.7
機組運行最大電流值 A 1.7/1.82 6.4/6.4 1.35 4.8
機組噪音值(50/60Hz） dB(A) 54/56 58/60 65 66
機組最大輸入功率 kWA 0.34/0.38 1.5/1.5 1.4 4
冷媒/充注量 Kg R134A/0.13 R410A/0.3 R410A/0.4 R410A/0.48
機組外形尺寸(L*B*H) mm 500*412*346 630*390*765 590*480*1070 680*520*1350

 

 

1、溫度和濕度控制范圍并不一定代表實際可控制的范圍。實際可控制的溫度和濕度范圍取決于進氣溫度和濕度以及工藝風(fēng)量。根據(jù)操作環(huán)境設(shè)置工藝風(fēng)量。
2、對于M01/02系列，當(dāng)進氣溫度和濕度穩(wěn)定時?？刂破魃巷@示的精度值僅適用于出口端的一點；同時是在最大額定風(fēng)量下運行時。 對于M03系列，在以額定工藝風(fēng)量（3 m3/min）運行時，開始運行后大約2分鐘內(nèi)，由于壓縮機 油回流，溫度會暫時波動。此外，如果目標濕度較高，并且根據(jù)加濕水供應(yīng)的時間不同，可能無法維持之前提到的精度。在這種情況下，通過調(diào)整與供水相關(guān)的參數(shù)，可以減少波動量。
3、在最大額定工藝風(fēng)量下運行時，送風(fēng)機出口側(cè)空氣出口處的恒定靜壓。
4、將產(chǎn)品插入專用插座以防止電壓下降，三相電源電壓相位不平衡應(yīng)小于±3 %。
5、在指定范圍內(nèi)最大工作電流下運行時。
6、冷卻水水質(zhì)要求：不低于《工業(yè)循環(huán)冷卻水處理設(shè)計規(guī)范》GB50050-95；備注 40°f相當(dāng)于的400ppm 的CaCO3 。 7、高度包括出口端。所示數(shù)值是在指定最大加濕水平運行時的。有關(guān)可能的詳細信息，請參閱操作手冊 備注：送風(fēng)管道必須保溫處理，現(xiàn)場安裝盡可能的縮短管路長度（最大長度不超過3m)

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

航空航天材料|試驗裝置控溫解決方案

在航空航天領(lǐng)域，材料的性能直接關(guān)系到飛行器的安全、可靠性和效率。隨著科技的進步，對航空航天材料的要求也越來越高，特別是在高溫、高壓、高速以及微重力等特殊環(huán)境下的表現(xiàn)。

]]> http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-qtkw/ultra-precision-ac.html/feed 0 FLTZ變頻多通道系列Chiller http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-gjdzj/dual-channel-chillers.html http://www.cainiaoxianfei.cn/product/chiller-gjdzj/dual-channel-chillers.html#respond Sun, 27 Apr 2025 03:52:30 +0000 http://www.cainiaoxianfei.cn/?p=11267
FLTZ變頻多通道系列Chiller

產(chǎn)品中心

適用范圍

多通道獨立控溫，可以具備單獨的溫度范圍、冷卻加熱能力、導(dǎo)熱介質(zhì)流量等，采用獨立的兩套系統(tǒng)，根據(jù)所需的溫度范圍選擇采用蒸汽壓縮制冷，或者采用ETCU無壓縮機換熱系統(tǒng)，系統(tǒng)可通用膨脹罐、冷凝器、冷卻水系統(tǒng)等，可以有效減少設(shè)備尺寸，減少操作步驟。

全國服務(wù)熱線 400-100-3163

產(chǎn)品參數(shù)

Product Parameter

雙通道系列? ? ? 所有型號均支持定制雙通道、三通道、四通道，各通道功率不同

型號 FLTZ-D-202W FLTZ-D-203W FLTZ-D-B003B203W
通道系數(shù) CH1 CH2 CH1 CH2 CH1 CH2
介質(zhì)溫度范圍 ?-20~＋90℃ ?-20~＋90℃ -20~＋90℃ ?-20~＋90℃ ?-20~＋90℃ ?-20~＋90℃
控制系統(tǒng) PLC控制器 PLC控制器 PLC控制器
控制模式 本體出液口溫控控制模式
負載溫度控制模式（通信）
出口溫度控制精度 ±0.1℃
冷卻能力 1kW@-20℃ 1kW@-20℃ 2.5kW@-15℃ 2.5kW@-15℃ 4kW@-15℃ 20kW@冷卻水溫度+10℃
4kW@10℃ 4kW@10℃ 6kW@10℃ 6kW@10℃ 10kW@10℃
加熱能力 1.6kW 1.6kW 5.5kW 5.5kW 2kW 5.5kW
介質(zhì)類型、電阻率 DI?WATER@10~18MΩ·cm 氟化液 氟化液
介質(zhì)流量壓力 20LPM@5bar 20LPM@5bar 20LPM@3bar 20LPM@3bar 20LPM@5bar 20LPM@5bar
介質(zhì)接口 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc1/2 Rc3/4 Rc3/4
冷卻水 20℃@2.5m3/h@2~4bar 20℃@3.5m3/h@2~4bar 20℃@2.7m3/h@2~4bar 20℃@3.5m3/h@2~4bar
冷卻水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
通道溫度控制 PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨立控制
每組流量控制 15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能
流量顯示精度 ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM
水箱容積 15L 15L 15L 15L 15L 15L
操作面板 7寸彩色觸摸屏
安全防護 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護
安全聯(lián)鎖裝置 EMO+INTERLOCK
上鎖掛牌裝置 LOTO
漏液檢測裝置 設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON
通訊類型 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境 No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體
30-70%(No condensation)
電源 220?VAC?±?10%，三相(可定制) 380?VAC?±?10%，三相(可定制) 220?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率 11kW(49A) 18kW（48A) 14.5kW（55A)
外殼材質(zhì) 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035
外形尺寸cm 60*85*140 75*110*170 46*90*187
非標定制 配離子交換樹脂過濾器
帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能
可定制雙通道液位平衡		 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能
可定制設(shè)計滿足semi2/semiF47認證
可定制雙通道液位平衡		 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能
可定制設(shè)計滿足semi2/semiF47認證
可定制雙通道液位平衡

 

三通道系列? ? ?所有型號均支持定制雙通道、三通道、四通道，各通道功率不同

型號 FLTZ-T-B203B205A1W FLTZ-T-B440A2A2W FLTZ-T-B210A1C1W
通道系數(shù) CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3 CH1 CH2 CH3
介質(zhì)溫度范圍 ?-10~＋60℃ 30~＋80℃ ?-10~＋80℃ ?-40℃~+50℃ 30℃~+120℃ 30℃~+50℃ ?-25℃~+90℃ 30℃~+90℃ 25℃~+160℃
控制系統(tǒng) PLC控制器 PLC控制器 PLC控制器
控制模式 本體出液口溫控控制模式
負載溫度控制模式（通信）
出口溫度控制精度 ±0.1℃
冷卻能力 4kW@-10℃ 6kW@冷卻水溫度+10℃ 3kW@-10℃ 20kW@-30℃ 20kW@50℃ 25kW@35℃ 10kW@-10℃ 10kW@30℃ 4kW@100℃
16kW@20℃ 10kW@20℃
加熱能力 5.5kW 5.5kW 4kW 5.5kW 15kW 5.5kW 2kW 7.5kW 7.5kW
介質(zhì)類型、電阻率 氟化液 氟化液 氟化液
介質(zhì)流量壓力 17LPM@7bar 17LPM@7bar 17LPM@7bar 30LPM@11.5bar 30LPM@11.5bar 23LPM@10bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar 30LPM@6.5bar
介質(zhì)接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4
冷卻水 20℃@2.7m3/h@2~4bar 20℃@2.5m3/h@2~4bar 20℃@1.6m3/h@2~4bar 20℃@20m3/h@2~4bar 20℃@7m3/h@2~4bar 20℃@5m3/h@2~4bar
冷卻水接口 Rc3/4 Rc3/4 Rc3/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 1/4 Rc1 Rc1 Rc1
通道溫度控制 PID控制調(diào)節(jié)，每路溫度獨立控制
每組流量控制 15~20LPM變頻調(diào)節(jié)功能
流量顯示精度 ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM ±0.5?LPM
水箱容積 40L 40L 40L 25L 25L 25L 25L 25L 25L
操作面板 7寸彩色觸摸屏 10寸彩色觸摸屏
安全防護 具有自我診斷功能；相序斷相保護器、電源過電流、過欠壓保護、電流監(jiān)控、漏水報警、加熱系統(tǒng)三重保護、進出液口壓力監(jiān)控及斷流保護
安全聯(lián)鎖裝置 EMO+INTERLOCK
上鎖掛牌裝置 LOTO
漏液檢測裝置 設(shè)備內(nèi)外部LEAK?SENSON
通訊類型 支持MODBUS?RTU/TCP協(xié)議、ETHERcAT、LONWORKS等。
安裝環(huán)境 No corrosive or flammable gas無腐蝕性或易燃氣體
30-70%(No condensation)
電源 220?VAC?±?10%，三相(可定制) 380?VAC?±?10%，三相(可定制) 380?VAC?±?10%，三相(可定制)
總用電功率 31kW（113A) 65kW（136A) 34kW（135A)
外殼材質(zhì) 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035 冷軋板噴塑RAL7035
外形尺寸cm 70*100*185 115*150*210 105*135*195
非標定制 帶自動吹掃功能、自動補液、自動排液功能，可定制設(shè)計滿足semi2/semiF47認證

行業(yè)應(yīng)用

APPLICATION

半導(dǎo)體FAB工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體制造是一個對環(huán)境要求極高的過程，許多工藝步驟對溫度非常敏感。

精確的溫度控制能夠確保沉積的薄膜厚度均勻、成分準確，從而提高芯片的性能和良率。

半導(dǎo)體封測工藝過程控溫解決方案

半導(dǎo)體封測工藝是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，包括晶圓測試、芯片封裝和封裝后測試。這一流程不僅要求高度的精確性和可靠性，還需要對溫度進行嚴格控制，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。

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